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半導體爐管（如擴散爐、氧化爐等所使用的爐管）必須符合超高純度、高溫穩定性、抗熱震性等嚴格要求。 RSiC爐管因其優異的性能，已成為主流材料。 燒結體純度達3N以上，加工精度達0.01mm。

重結晶碳化矽爐管：重結晶碳化矽爐管是半導體製造設備中的關鍵零件，主要用於高溫製程腔體（如外延生長、離子注入、擴散爐等）。燒結體純度在3N以上，加工精度可達0.01mm，符合超高純度、耐腐蝕、精密尺寸的要求。