產品

重結晶碳化矽爐管：重結晶碳化矽爐管是半導體製造設備中的關鍵零件，主要用於高溫製程腔體（如外延生長、離子注入、擴散爐等）。燒結體純度在3N以上，加工精度可達0.01mm，符合超高純度、耐腐蝕、精密尺寸的要求。