製程管/RSiC爐管高純度薄壁
產品描述
在半導體和光伏製造的高溫設備中，如擴散爐、CVD爐、退火爐等，RSiC爐管是安裝在主製程管內部或外部的關鍵輔助元件，製程管的作用遠遠超出了簡單的物理防護。
爐管可防止金屬污染，確保製程中的污染控制和純度；
保護主工藝管，延長設備使用壽命。
RSiC爐管在半導體、光伏、第三代半導體等高端製造領域，在高溫、腐蝕、高純度製程上具有顯著優勢。
RSiC爐管的特點
1.極高的耐高溫性能：耐溫高達1600℃，遠超石英製程管（1200℃極限）及普通陶瓷製程管；
2.優異的抗熱震性：製程管可承受1000℃/min的快速升降溫；
3.超強化學惰性：耐HCl、Cl₂、HF等腐蝕性氣體；
4.超高純度、低污染：金屬雜質含量<1ppm；
5.壽命長：抗沉澱能力強，維護成本低；
6.熱場均勻性優化：RSiC爐管熱導率高，均質化速度快，降低爐內軸向溫差（可控制±0.3℃以內）。
主要參數
高溫窯爐設備產業 | 碳化矽 |
碳化矽含量（%） | ≥99% |
堆積密度（g/cm33） | 2.65~2.75 |
顯孔隙率（%） | <17 |
室溫強度（MPa） | 90~100 |
1300℃強度(MPa) | 100-110 |
20℃彈性模量 | 240 |
1200℃熱導率(W/mk) | 36 |
熱膨脹 x10-6/℃ | 4.6 |
最高使用溫度（℃） | 1650℃ |
20°C 時的硬度 (Kg/mm2） | 2000 |
20°斷裂韌性(MpaxM1/2） | 2.0 |
產品詳情
RSiC爐管/製程管，燒結體純度在3N以上，製程管加工精度0.01mm。
包裝
關於我們
瀋陽瑞寶環球貿易有限公司作為一家專注於碳化矽（SiC）全產業鏈服務的貿易企業，在商業模式和價值鏈方面具有顯著的外貿平台優勢。企業具備產業鏈整合能力：上游：對接國內領先的碳化矽生產企業，涵蓋原料、製品（磨料、陶瓷零件）、半導體裝置（晶圓、功率模組）全系列。下游：服務國際買家，提供客製化服務，提供一站式採購解決方案。提供採購、物流、通關、跨境結算等優質服務。
