產品

半導體爐管（如擴散爐、氧化爐等所使用的爐管）必須符合超高純度、高溫穩定性、抗熱震性等嚴格要求。 RSiC爐管因其優異的性能，已成為主流材料。 燒結體純度達3N以上，加工精度達0.01mm。