RSiC 爐熱屏蔽板爐膛配件
產品描述
RSiC隔熱板是擴散爐、CVD爐、退火爐等高溫設備中的關鍵零件，在減少熱量損失、保持溫度均勻性、保護外部結構等方面發揮重要作用。爐體隔熱板的主要功能包括：
隔熱：用於熱處理、LPCVD製程承載矽舟，有效阻斷熱傳遞，實現高效隔熱；
提高溫度均勻性：借助多層反射或隔熱設計，促使爐內熱場均衡分佈，將溫差控制在±1-2℃範圍內；
機械支撐作用：RSiC隔熱板為加熱元件、製程管或晶片承載裝置提供堅實穩定的支撐基礎。
RSiC爐隔熱板的特點
耐高溫：可在800~1600℃環境下長期穩定工作，適應不同製程要求；
低熱導率：室溫下熱導率通常在1W/(m·K)以下，有效抑制熱傳導；
化學惰性：耐各種製程氣體（如O₂、H₂、HCl等）的腐蝕，以維持性能穩定；
高純度材料：RSiC隔熱板雜質含量極低，可防止高溫下揮發性物質污染晶圓；
結構輕量化：熱屏蔽板熱容量小，可實現快速加熱和冷卻，提高製程效率。
特點和優勢
· 耐高溫
· 抗熱震性
· 高導熱性
· 機械強度高
· 耐酸鹼性
· 耐磨性
主要參數
高溫窯爐設備產業 | 碳化矽 |
碳化矽含量（%） | ≥99% |
堆積密度（g/cm3）3） | 2.65~2.75 |
顯孔隙率（%） | <17 |
室溫強度（MPa） | 90~100 |
1300℃強度(MPa) | 100-110 |
20℃彈性模量 | 240 |
1200℃熱導率(W/mk) | 36 |
熱膨脹 x10-6/℃ | 4.6 |
最高使用溫度（℃） | 1650℃ |
20°C 時的硬度 (Kg/mm2） | 2000 |
20°斷裂韌性(MpaxM1/2） | 2.0 |
產品詳情
半導體屏蔽板遠非簡單的絕緣材料，而是集絕緣、均溫、承重、防污、增效於一體的關鍵功能部件，直接關係到半導體製程的性能、效率、良率、成本。
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我們的優勢
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