重結晶碳化矽懸臂槳
產品描述
碳化矽懸臂槳是一種高性能陶瓷結構部件，其特點是扁平設計，帶有細長條帶或穿孔結構。這種專用碳化矽懸臂槳主要用於光伏和半導體晶圓處理系統，在燒結過程中為材料提供可靠的支撐。我們公司採用專有的高純度碳化矽粉末（SiC含量≥99.9990%）製造，擁有獨特的生產能力，能夠生產長度達數米、幾何形狀複雜的大型碳化矽懸臂槳組件。這些先進的碳化矽懸臂槳單元在晶圓熱處理和化學氣相沉積應用中起著關鍵的承載和傳輸元件的作用。
重結晶碳化矽懸臂槳的特性
1.環境適應性
耐高溫：SiC懸臂槳在高達1650°C的工作溫度下仍能保持結構完整性，甚至可以承受更高的短期熱暴露而不會變形，使其成為LPCVD和其他高溫製程的理想選擇。
抗熱衝擊性：由於熱膨脹係數低，此懸臂槳葉可承受快速熱循環條件，顯著延長設備維護間隔。
2.機械性質
高負載能力：與傳統石英材料相比，出色的抗彎強度使 SiC 懸臂槳能夠支撐更高的晶圓負載，從而提高生產吞吐量。
耐磨、耐腐蝕：碳化矽懸臂槳的莫氏硬度為 9 級，具有出色的耐酸、耐鹼和耐顆粒侵蝕性能，可最大限度地降低污染風險並保持晶圓純度。
3. 輕量化結構，延長使用壽命
低密度懸臂槳葉可降低機械系統負載，同時使用壽命比金屬或石英替代品長 3-5 倍，大幅降低整體擁有成本。
4. 精度和穩定性
卓越的表面光潔度和卓越的熱穩定性使碳化矽懸臂槳能夠方便機器人自動化處理，同時滿足半導體晶圓加工的嚴格精度要求。
特點和優勢
耐高溫
抗熱震性
高導熱性
機械強度高
耐酸鹼性
耐磨性
主要參數
高溫窯爐設備產業 | 碳化矽 |
碳化矽含量（%） | ≥99% |
堆積密度（g/cm33） | 2.65~2.75 |
顯孔隙率（%） | <17 |
室溫強度（MPa） | 90~100 |
1300℃強度(MPa) | 100-110 |
20℃彈性模量 | 240 |
1200℃熱導率(W/mk) | 36 |
熱膨脹 x10-6/℃ | 4.6 |
最高使用溫度（℃） | 1650℃ |
20°C 時的硬度 (Kg/mm2） | 2000 |
20°斷裂韌性(MpaxM1/2） | 2.0 |
應用
SiC懸臂槳工業應用
半導體製造：碳化矽懸臂槳為擴散爐和 CVD 設備提供必要的支撐，確保穩定的晶圓處理環境。
光電生產：作為矽片燒結爐中的關鍵承重元件，碳化矽懸臂槳葉可實現太陽能電池的高效量產。
先進陶瓷加工：這種懸臂槳葉有利於包括氮化矽和氧化鋯成分在內的技術陶瓷的高溫燒結。
玻璃工業應用：堅固的碳化矽懸臂槳葉可有效用作高溫玻璃加工系統中的熔融玻璃輸送輥。
關於我們
經過20多年的產品研發與創新，公司產業涵蓋工業窯具、碳化矽原料粉體、環保陶瓷薄膜、電子陶瓷、半導體光伏等，產品遠銷美國、日本、德國、義大利、西班牙、澳洲、南非、巴西、泰國等20多個國家和地區，並在多個國家擁有代理商，預計2024年產品出口量將佔總產量的30%。
