長齒8吋矽片舟RSiC高純度
8吋晶舟是一種由重結晶碳化矽 (RSiC) 製成的專用載具，專為200毫米晶圓加工而設計。這款8吋晶舟採用獨特的長齒設計，顯著提升了散熱效率，同時支援更高密度的多晶片整合。 RSiC晶舟具有卓越的性能特徵，包括耐高溫、耐腐蝕、優異的機械強度和優異的半導體性能，使其成為積體電路製造、LED生產和其他微電子應用中不可或缺的一部分。
這款8吋晶舟保持極低的污染水平和精確的製造公差，為高溫半導體製備過程提供可靠的支撐。本公司生產包括瓦式、三柱式和四柱式等多種結構的晶舟，提供6吋/8吋/12吋規格。 RSiC晶舟廣泛應用於半導體和光伏領域，特別適用於小尺寸晶圓的氧化和離子注入製程。
材料技術參數
半導體/光伏產業 | 碳化矽 |
碳化矽純度（%） | 99.9-99.99 |
堆積密度（g/cm3）3） | 2.65-2.75 |
顯孔隙率（%） | 15-16 |
室溫強度（MPa） | 90 |
1300℃強度（MPa） | 100 |
燒結體連接強度(MPa) | 25 |
產品詳情
RSiC 晶圓舟皿是一款專為 200 毫米（8 吋）晶圓設計的高階承載解決方案，廣泛應用於關鍵的半導體熱工藝，包括擴散和氧化階段。這款先進的 8 吋晶圓舟皿採用重結晶碳化矽作為基材，並透過化學氣相沉積 (CVD) 技術塗覆碳化矽塗層，有效結合了結構完整性和卓越的表面保護性能。
RSiC晶圓舟保持了基板和塗層之間完美的熱膨脹相容性，消除了開裂或分層的風險。
RSiC 晶舟展現出卓越的熱穩定性，這得益於碳化矽固有的高熔點和化學惰性，即使在超過 1250°C 的加工溫度下也能保持一致的結構完整性和性能，不會軟化、變形或污染環境。這款 8 吋晶舟的典型使用壽命為 2-3 年，可大幅降低更換頻率和維護成本，從而最大限度地減少設備停機時間，提高生產經濟效益。
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瑞思博環球貿易有限公司（瀋陽）將高效率的生產與客製化服務結合，為全球客戶創造價值。我們先進的生產系統確保高品質的產出和快速的反應。我們致力於為全球客戶提供個人化的解決方案和無縫的高品質服務。我們透過24小時全球服務，確保在所有時區都能及時回應，從而確保無縫的客戶體驗。
