爐膛保溫桶 SiC 高純
產品描述
重結晶碳化矽保溫桶是高端高溫工業設備中的關鍵元件，尤其在半導體、光伏、特殊陶瓷等領域的高溫處理製程中展現出不可取代的優勢。爐腔保溫桶的功能是保護晶片製造的生產環境－超潔淨、超精密的生產環境。
爐腔保溫桶由氮化矽製成，也稱為碳化矽保溫桶。碳化矽保溫桶確保環境狀態（而非溫度）的穩定性。它維持恆定、純淨且惰性的「微氣候」。碳化矽保溫桶是尖端的高科技容器，可保護價值數百萬美元的晶圓並確保晶片良率。碳化矽保溫桶是晶片製造中不可或缺的零件。
RSiC絕緣筒的特性
1.超高溫穩定性：耐溫極限，長期使用溫度可達1600℃，短期耐受1800℃。
2.高溫強度保持性：碳化矽保溫桶在1500℃時的抗壓強度大於100MPa，而氧化鋁保溫材料在相同溫度下強度衰減50%以上。
3.極限熱效率：SiC隔熱筒導熱係數低：0.8-1.2 W/(m·K)（800℃時），比普通碳化矽材料降低40%，這是透過特殊的孔結構設計實現的。多層反射結構：採用RSiC材料，具有較高的輻射熱反射率。
4.化學惰性：耐腐蝕：SiC絕緣桶可耐HCI、HF、H2SO4蒸汽等酸性氣體，Na2CO3熔鹽等鹼性環境，以及Al、Cu、Ag等金屬熔體；
5.SiC保溫桶使用壽命長。
特點和優勢
· 耐高溫
· 抗熱震性
· 高導熱性
· 機械強度高
· 耐酸鹼性
· 耐磨性
主要參數
高溫窯爐設備產業 | 碳化矽 |
碳化矽含量（%） | ≥99% |
堆積密度（g/cm33） | 2.65~2.75 |
顯孔隙率（%） | <17 |
室溫強度（MPa） | 90~100 |
1300℃強度(MPa) | 100-110 |
20℃彈性模量 | 240 |
1200℃熱導率(W/mk) | 36 |
熱膨脹 x10-6/℃ | 4.6 |
最高使用溫度（℃） | 1650℃ |
20°C 時的硬度 (Kg/mm2） | 2000 |
20°斷裂韌性(MpaxM1/2） | 2.0 |
產品詳情
絕緣筒具有超高純度：燒結體純度在3N以上，加工精度可達0.01mm。
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