爐管及配件

半導體爐管（如擴散爐、氧化爐等所使用的爐管）必須符合超高純度、高溫穩定性、抗熱震性等嚴格要求。 RSiC爐管因其優異的性能，已成為主流材料。 燒結體純度達3N以上，加工精度達0.01mm。

爐腔保溫桶是單晶矽生長、晶圓熱處理等半導體製造製程所使用的關鍵熱場零件。 保溫桶必須滿足極高的溫度、高純度、優良的保溫性能的要求。

爐體隔熱板是高溫半導體、光伏的核心零件。 RSiC熱屏蔽板新材質燒結設備。 RSiC熱屏蔽板具有耐高溫、熱損失小、使用壽命長的特性。

重結晶碳化矽懸臂槳是一種高性能陶瓷元件，因其優異的耐高溫、耐腐蝕、耐磨、熱震穩定性佳，主要應用於化學、冶金、環保、半導體等產業。

重結晶碳化矽爐管：重結晶碳化矽爐管是半導體製造設備中的關鍵零件，主要用於高溫製程腔體（如外延生長、離子注入、擴散爐等）。燒結體純度在3N以上，加工精度可達0.01mm，符合超高純度、耐腐蝕、精密尺寸的要求。