半導體爐管(如擴散爐、氧化爐等所使用的爐管)必須符合超高純度、高溫穩定性、抗熱震性等嚴格要求。 RSiC爐管因其優異的性能,已成為主流材料。 燒結體純度達3N以上,加工精度達0.01mm。
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RSiC 晶圓載體是半導體製造和晶體生長製程的關鍵元件,專為在高溫環境下承載矽晶圓或碳化矽基板而設計。這款重要的 12 吋晶圓載體可在各種熱處理階段提供可靠的支撐。
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氮化矽結合碳化矽(NSiC)熱電偶保護管是高溫測量領域的關鍵元件。 NSiC熱電偶保護管在要求高溫強度、耐磨性、熱穩定性的極端環境下表現出優異的性能。
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爐腔保溫桶是單晶矽生長、晶圓熱處理等半導體製造製程所使用的關鍵熱場零件。 保溫桶必須滿足極高的溫度、高純度、優良的保溫性能的要求。
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爐體隔熱板是高溫半導體、光伏的核心零件。 RSiC熱屏蔽板新材質燒結設備。 RSiC熱屏蔽板具有耐高溫、熱損失小、使用壽命長的特性。
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重結晶碳化矽懸臂槳是一種高性能陶瓷元件,因其優異的耐高溫、耐腐蝕、耐磨、熱震穩定性佳,主要應用於化學、冶金、環保、半導體等產業。
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碳化矽晶舟是半導體製造和晶體生長過程中的關鍵載體,主要用於在高溫環境下承載矽片或碳化矽基板。 碳化矽晶舟具有純度高、耐高溫(1600℃以上)、耐酸鹼腐蝕、熱膨脹係數低、熱傳導率高等優點。
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RSiC晶舟是半導體製造和晶體生長過程中的關鍵載體,主要用於在高溫環境下承載矽片或碳化矽基板。 水平晶舟用於水平擴散爐。
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RSiC晶圓載體是半導體製造和晶體生長過程中的關鍵載體,主要用於在高溫環境下承載矽晶圓或碳化矽基板。 半導體晶圓載體具有純度高、耐高溫(1600℃以上)、耐酸鹼腐蝕、熱膨脹係數低、熱導率高等優點。
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重結晶碳化矽爐管:重結晶碳化矽爐管是半導體製造設備中的關鍵零件,主要用於高溫製程腔體(如外延生長、離子注入、擴散爐等)。燒結體純度在3N以上,加工精度可達0.01mm,符合超高純度、耐腐蝕、精密尺寸的要求。
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RSiC晶舟是半導體製造過程中的關鍵元件,旨在確保晶圓在高溫製程中安全穩定。 RSiC晶舟具有耐高溫、優異的抗熱震性、優異的耐酸鹼腐蝕性、高純度及結構穩定性等特性。
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重結晶碳化矽(RSiC)熱電偶保護管是高溫測量領域的關鍵元件。 RSiC熱電偶管在要求高溫強度、耐磨性、熱穩定性的極端環境下表現出優異的性能。
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