6吋高硬度SiC半導體晶圓舟
碳化矽晶舟具有多項顯著優勢，使得碳化矽晶舟在高溫、高潔淨、強腐蝕等惡劣環境下表現優異。
碳化矽晶舟具有較高的熱穩定性，其長期工作溫度可達1350℃~1650℃，能夠滿足化學氣相沉積（CVD）、擴散、退火等主流半導體製程的要求；短時間在1700℃下也不會軟化變形，適用於碳化矽單晶片等更高等級的設備。
碳化矽晶舟具有較低的熱膨脹係數和優異的熱震穩定性，能夠承受快速的溫度變化，減少熱應力所造成的結構開裂。即使在複雜的高溫氣氛中，碳化矽晶舟仍能保持良好的形貌與性能。
碳化矽晶舟具有極高的表面潔淨度和低污染特性。材料純度高，金屬雜質含量極低，可避免對矽片造成二次污染；表面粗糙度Ra可控制在0.1μm以下，滿足先進製程對潔淨度等級的嚴苛要求。
此外，碳化矽晶舟客製化實現了無毛邊、無損傷齒槽，可客製化4吋晶舟、6吋晶舟、8吋晶舟、12吋晶舟等多種尺寸。
最後，SiC晶舟結構強度高、壽命長，平均壽命比傳統石英舟長5-10倍，大幅降低設備更換頻率和整體擁有成本。
材料技術參數
半導體/光伏產業 | 碳化矽 |
碳化矽純度（%） | 99.9-99.99 |
堆積密度（g/cm33） | 2.65-2.75 |
顯孔隙率（%） | 15-16 |
室溫強度（MPa） | 90 |
1300℃強度(MPa) | 100 |
燒結體連接強度(MPa) | 25 |
產品詳情
本產品為6吋晶舟，直徑為150mm，用於承載對應的6吋晶圓。 6吋晶舟可承載的晶圓數量通常在25片至100片之間。
相較於石英材料，6吋晶舟兼具碳化矽陶瓷的各種特性，不易產生彎曲應力變形及熱應變，能夠適應晶圓製造接頭處強腐蝕、超高溫等嚴酷的反應環境。碳化矽陶瓷是晶舟的最佳材料，6吋晶舟也是晶舟市場的新興產品。
包裝
關於我們
瀋陽瑞普環球貿易有限公司是一家工貿一體化企業，專注於客製化碳化矽解決方案。我們提供全面的OEM和ODM服務，透過尺寸客製化和技術設計，提供量身訂製的窯具。憑藉樣品驗證和嚴格的品質標準，我們確保產品性能可靠，並滿足各種生產需求。
