碳化矽坩堝耐高溫防腐劑

碳化矽坩堝具有耐高溫、耐急冷急熱、不易開裂、耐腐蝕、純度高、硬度高、導熱效率高等特性。碳化矽坩堝主要分為重結晶坩堝、反應燒結坩堝、氮化矽結合碳化矽坩堝等。碳化矽坩堝廣泛應用於半導體、光伏、金屬冶煉等領域。
特點和優勢
重結晶碳化矽坩堝性能特點
超高純度耐高溫:不含雜質,可在1800C以上長期使用。優良的導熱性:與其他類型相比,導熱性優越,耐腐蝕性:對強酸、強鹼、金屬熔體(如矽、鐵水)有極強的耐腐蝕性。
缺點:強度低:由於孔隙率高,機械強度低,脆性大:容易受到機械衝擊損壞。
氮化矽結合碳化矽坩堝性能特性:
高強度材料和高韌性彌補了RSiC的脆性,具有較高的彎曲強度和比RSiC更好的抗氧化性能。具有良好的熱震穩定性及耐急冷急熱性能。耐腐蝕,對熔融金屬(如鋁和銅)和酸性渣有較強的抵抗力。
缺點:高溫下長期使用溫度為1450℃,NSiC坩堝耐高溫性能較重結晶碳化矽坩堝較低。
反應燒結碳化矽坩堝性能特性:
密度高:孔隙率低(<1%)。硬度高,莫氏硬度達9.5,耐磨性優良。
缺點:耐高溫性能有限,低於RSiC、NSiC材料坩堝,耐腐蝕性差,不適用於強鹼性環境。
主要參數
高溫窯爐設備產業 | 碳化矽 | 氮化矽 | 碳化矽 |
碳化矽含量(%) | ≥99% | 75% | ≥90% |
Si3N4含量(%) | / | ≥25% | 5%-10% |
堆積密度(g/cm33) | 2.65~2.75 | 2.73~2.83 | 3.02~3.07 |
顯孔隙率(%) | <17 | <12 | <0.1 |
室溫強度(MPa) | 90~100 | 160~170 | 260~270 |
1300℃強度(MPa) | 100-110 | 170~180 | 280~290 |
20℃彈性模量 | 240 | 250 | 330 |
1200℃熱導率(W/mk) | 36 | 20 | 45 |
熱膨脹 x10-6/℃ | 4.6 | 4.7 | 4.5 |
最高使用溫度(℃) | 1650℃ | 1450℃ | 1350℃ |
20°C 時的硬度 (Kg/mm2) | 2000 | 2500 | 2400 |
20°斷裂韌性(MpaxM1/2) | 2.0 | 4.0 | 3.3 |
產品詳情


不同製程的碳化矽坩堝各有專注,需依據特定的工況條件(溫度、介質、機械負荷)綜合選擇。
選擇建議
高溫(1600℃)惰性環境:選用RSiC(如矽單晶生長)。
強機械衝擊或氧化環境:選用NSiC(如金屬熔化)。
低成本耐磨需求:選擇RBSiC(如噴嘴、密封)。
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